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RIE反應離子刻蝕機

所屬分類： 等離子刻蝕機

產品參數(shù)

CIF推出RIE反應離子刻蝕機，采用RIE反應離子誘導激發(fā)方式，實現(xiàn)對材料表面各向異性的微結構刻蝕。特別適合于大學，科研院所、微電子、半導體企業(yè)實驗室進行介質刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕等方面研究。使用成本低，性價比高，易維護，處理快速高效。適用于所有的基材及復雜的幾何構形進行RIE反應離子刻蝕。
屬性
產品名稱
型號
廠商性質
訪問量
更新時間
詳情
RIE反應離子刻蝕機
RIE200/plus
生產廠家
861次
2024-03-18

產品詳情

   CIF 推出 RIE 反應離子刻蝕機，采用 RIE 反應離子誘導激發(fā)方式，實現(xiàn)對材料表面各向異性的微結構刻蝕。特別適合于大學、科研院所，微電子、半導體企業(yè)實驗室進行介質刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕等方面研究。使用成本低，性價比高，易維護，處理快速高效。適用于所有的基材及復雜的幾何構形進行 RIE 反應離子刻蝕。
具體包括：
◆ 介電材料（SiO2、SiNx 等）
◆ 硅基材料（Si，a-Si，poly Si）
◆  III-V 材料（GaAs、InP、GaN 等）
◆ 濺射金屬（Au、Pt、Ti、Ta、W 等）
◆ 類金剛石（DLC）
應用領域：
主要用于微電子芯片、太陽能電池、生物芯片、顯示器、光學、通訊等領域的器件研發(fā)和制造。
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產品特點

◆  7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面，自動控制監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)，20 個配方程序，工藝數(shù)據(jù)可存儲追溯。

◆  PLC 工控機控制整個清洗過程，手動、自動兩種工作模式。

◆  真空艙體、全真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質，耐腐蝕無污染。

◆  采用防腐數(shù)字流量計，  實現(xiàn)對氣體輸入精準控制。標配雙路氣體輸送系統(tǒng)， 可選多氣路氣體輸送系統(tǒng)， 可輸入氧氣、氬氣、 氮氣、四氟化碳、氫氣或混合氣等氣體。

◆  采用花灑式多孔進氣方式，改變單孔進氣不均勻問題。

◆  HEPA 高效過濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。

◆  符合人體功能學的 60 度傾角操作界面設計，操作方便，界面友好。

◆  采用頂置真空艙，上開蓋設計，下壓式鉸鏈開關方式。

◆  上置式 360 度水平取放樣品設計，符合人體功能學，操作更方便。

◆  有效處理面積大，可處理最大直徑 154mm 晶元硅片。

◆  安全保護，艙門打開，自動關閉電源，機器運行、停止提示。


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